掃描電子顯微鏡利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀察樣品的表面形態(tài)。可以直觀的觀測(cè)到微觀顆粒的表面形貌特征。
分辨率：
1.0nm (二次電子,加速電壓：15kV)
1.3nm (二次電子,加速電壓：1kV)突出的低壓分辨率
1.5nm (背散射電子,.加速電壓：30kV)突出的背散射技術(shù)
常規(guī)拓展，如安裝能譜進(jìn)行微區(qū)元素分析等。

旭陽(yáng)合作品牌：日本電子