ICP-MS用等離子體（ICP）作為離子源，質(zhì)譜（MS）分析器檢測產(chǎn)生的離子，可同時(shí)測周期表中大多數(shù)元素。
a. 靈敏度：
低質(zhì)量數(shù) Li(7):  50 Mcps/ppm；
中質(zhì)量數(shù) Y(89):  160 Mcps/ppm（7700x)； 240 Mcps/ppm(7700s) ；
(高質(zhì)量數(shù) Tl(205):  80 Mcps/ppm(7700x)； 120 Mcps/ppm(7700s)；
b. 檢測限：
低質(zhì)量數(shù) Be(9):  0.5 ppt；
中質(zhì)量數(shù) In(115):  0.1 ppt
高質(zhì)量數(shù) Bi(209):  0.1 ppt
c.元素范圍:Li-U

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